微粒过滤器 H13 和宽带气体过滤器,用于 WFE2X 和 MG100S包含一个 H13 HEPA 过滤器和宽带气体过滤器宽带气体过滤器采用 50% 活性炭、50% 化学吸收H13 HEPA 去除 99.95% 高达 0.3 微米的颗粒